3轴圆柱坐标单臂洁净机械手臂 4轴圆柱坐标双臂洁净机械手臂 JEL

这是一个用于**净室的多轴水平多关节型清洁机器人，适用于半导体制造设备和检验设备等的晶圆输送，支持300毫米晶圆。针对EFEM等将卡盘水平排列的布局，机器人配备了可以水平移动的轴，可以在没有行走轴的情况下对每个晶圆进行搬运。对于300毫米晶圆的EFEM，机器人可以支持2个Port。机器人使用了式编码器规格的伺服电机，*原点复位。

该机器人可以单独支持2个FOUP，可以根据设备布局选择底座类型和法兰类型。机器人还配备了运动监控装置。控制方式为RS232C和并行光I/O。所有轴都使用了内置式编码器的AC伺服电机。通过S型加减速控制，可以高速、***地搬运晶圆。使用AC伺服电机规格和操作轨迹***化的方法，实现高速搬运。相比传统机型GHR4000，速度提高了1.8倍。晶圆夹持方式有真空吸附、扣压、边缘夹持夹爪、伯努利夹爪等多种选择。夹爪材料可以是CFRP、铝、陶瓷等多种选择，可以根据被搬运物和设备布局选择***适合的夹爪。